1. 設備介紹?

高純氣體管道系統(tǒng)廣泛應用于半導體、光伏、LED、電子化工等行業(yè)，負責輸送氮氣、氧氣、氬氣、氫氣等高純 / 超高純氣體，管道系統(tǒng)需具備極低的泄漏率和雜質析出率，確保氣體在輸送過程中純度不衰減。?

2. 為何需要使用過濾器?

高純氣體在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，易受氣瓶內壁雜質、管道焊接氧化層、閥門密封件析出物等污染，即使微量雜質也會影響下游產(chǎn)品質量(如光伏電池轉換效率、電子元件可靠性)，過濾器是維持氣體純度的關鍵設備。?

3. 過濾器介紹?

恒歌 HF 系列高純氣體管道專用過濾器，專為高純氣體輸送系統(tǒng)設計，采用電解拋光 316L 不銹鋼結構，內壁粗糙度 Ra≤0.2μm，有效減少雜質吸附，50Mpa 高壓設計適配各類高純氣體輸送壓力，可高效濾除氣體中的微粒、油霧、水分及有機雜質。?

4. 產(chǎn)品特點?

316L 不銹鋼電解拋光處理，內壁光滑無吸附，保障氣體純度?

輕量化設計，安裝空間小，螺紋 / 法蘭連接可選，密封性能優(yōu)異?

耐高壓 50Mpa、耐高溫 180℃，適配多類型高純氣體(惰性 / 活性氣體)?

濾芯采用疏水 / 疏油材質，過濾效率高，不易結露堵塞?

100% 出廠完整性測試，泄漏率≤1×10?? Pa?m3/s?

維護簡便，濾芯可單獨更換，降低使用成本?

5. 產(chǎn)品應用?

適用于半導體高純氣體輸送管道、光伏行業(yè)高純氬氣 / 氫氣管道、LED 制造高純氮氣管道、電子化工超高純試劑配套氣體管道系統(tǒng)。?

6. 常見問答?

Q1：過濾器對氣體流量有影響嗎??

A1：采用低流阻設計，濾芯通量大，在額定流量范圍內壓力損失≤0.05Mpa，不影響管道系統(tǒng)正常供氣。?

Q2：能否用于超高純氮氣(99.9999%)系統(tǒng)??

A2：完全適用，過濾器可濾除氮氣中殘留的微量水分和微粒，進一步提升氣體純度至 99.99995% 以上。?

Q3：與普通過濾器的區(qū)別是什么??

A3：針對高純氣體設計，無非金屬析出物，密封件采用全氟材質，避免污染氣體，且通過 SEMI F20 高純標準認證。?

7. 選型引導?

不同高純氣體的化學性質、管道壓力、流量需求差異較大，如需匹配精準過濾方案，歡迎聯(lián)系恒歌獲取專業(yè)選型支持!