工藝氣體專用過(guò)濾器_精準(zhǔn)UHP超純氣流直通三通式過(guò)濾器
TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
? 高通量、低阻力
? 超高顆粒攔截率
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝100%完整性測(cè)試
? 100%氨氣檢漏測(cè)試
T型過(guò)濾器
·聯(lián)合閥帽設(shè)計(jì)，更安全
·工作溫度:-28~+482℃
.工作壓力可達(dá):414bar (6000psig)可選配底部旁通道，可用于取樣和清洗
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | ||
| 氦氣驗(yàn)證泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦氣測(cè)試泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
| 內(nèi)表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應(yīng)氣體 | 50°C | ||
| 顆粒攔截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | ≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
?過(guò)濾面積
| 過(guò)濾器類型 | 過(guò)濾面積規(guī)格 | 過(guò)濾面積mm2 | |
| 燒結(jié)式 | 濾網(wǎng)式 | ||
| T型 | 2 | 830 | 640 |
| 4 | 830 | 640 | |
| 8 | 1280 | 1090 | |
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